Servicios
Servicio, reparación y actualizaciones para equipos de fotolitografía antiguos
Soporte in situ y remoto, recambios, reacondicionamiento y actualizaciones para líneas de recubrimiento y revelado y equipos de proceso cuyos fabricantes ya no existen o ya no ofrecen soporte.
Diagnóstico in situ
Nuestros técnicos diagnostican y resuelven problemas directamente en su fábrica.
Servicio de escalado in situ
Soporte de escalado in situ cuando un problema requiere experiencia especializada.
Soporte en línea
Soporte remoto para respuestas rápidas sin esperar a una visita in situ.
Revisión y reacondicionamiento
Máquinas y subsistemas como robots, placas térmicas y estaciones de recubrimiento.
Reparación de piezas
Reparación de componentes eléctricos, mecánicos y neumáticos.
Instalación y desinstalación
Instalación y desinstalación de equipos de proceso.
Traslado
Servicio de traslado de equipos de proceso.
Soporte y optimización de procesos
Apoyo a sus procesos y optimización del rendimiento de línea.
Inspección en origen
Inspección de equipos en el vendedor antes de su compra o envío.
Actualizaciones
Mejoras de hardware sin cambios de software, para sustratos de hasta 16".
Recambios
400 m² de recambios nuevos y usados, de motores de centrifugado a placas.
KLA-Tencor 21xx
Servicio especializado y recambios para equipos de inspección de campo claro KLA-Tencor 21xx.
Desde 1999
Cuando el fabricante ya no ayuda, nosotros sí
Desde agosto de 1999, APEX Semiconductor da soporte a una amplia gama de equipos fotográficos de fabricantes que ya no existen – por ejemplo Convac-Fairchild, B.L.E. Laboratory Equipment, SSE (Sister Semiconductor Equipment), SVG (Silicon Valley Group), ATMsse y APT (Convac) – así como a sistemas cuyos fabricantes han dejado de dar soporte debido a su antigüedad.
Mantenemos estas máquinas en producción con servicio in situ, reparaciones, reacondicionamiento y actualizaciones, respaldados por nuestro propio stock de recambios nuevos y usados.
Equipos que atendemos
Plataformas y modelos compatibles
SUSS MicroTec / Karl Suss
- ACS 200 Classic: líneas de recubrimiento, revelado, placas calefactoras, de enfriamiento y VPO
- RC8: recubridora y placas calefactoras independientes
- Gamma 60/80, ACS 200+ y Delta: recubridoras, reveladoras y equipos de sobremesa
- Falcon (Fairchild / Convac / SUSS): recubrimiento, revelado, placas calefactoras y de enfriamiento, HMDS, VPO, lift-off
Convac
- M6000: recubrimiento, revelado, HMDS, placa calefactora, limpieza, lift-off, grabado
- Líneas de recubrimiento y revelado M2000 y equipos manuales
- Máquinas de proceso manuales independientes
- Sistemas APT
B.L.E.
- Gamma, Respect, Acrobat y Delta
SSE / ATMsse
- Maximus 804
- Opticoat, Optiwet y Optihot
SVG
- Líneas SVG serie 90
- Recubridoras, reveladoras, placas calefactoras y de enfriamiento
Otras plataformas
- Semitek
- Hamatech
- KLA-Tencor 21xx
Preguntas frecuentes
Preguntas frecuentes
¿Qué equipos atienden?
Equipos de fotolitografía de Convac, SUSS MicroTec (Karl Suss), B.L.E., SSE/ATMsse, SVG, Semitek y Hamatech – principalmente líneas de recubrimiento y revelado, placas calefactoras y de enfriamiento y equipos de proceso relacionados – además de equipos de inspección KLA-Tencor 21xx.
¿Ofrecen servicio in situ?
Sí. Ofrecemos diagnóstico y servicio de escalado in situ, instalación, desinstalación y traslado en las instalaciones de clientes de todo el mundo, además de soporte en línea.
¿Suministran recambios para máquinas descatalogadas?
Sí. Disponemos de un amplio stock de recambios nuevos y usados, como motores y controladores de centrifugado, unidades CPU y placas de circuito. Consulte nuestra tienda de recambios o envíenos una solicitud.
¿Se pueden actualizar máquinas antiguas?
Sí. Gracias a nuestra experiencia con sustratos desde 2" o menos hasta 16", redondos o cuadrados, podemos rediseñar el hardware para actualizaciones sin cambiar el software de la máquina.
¿Dónde se encuentran?
Nuestra sede y nuestro almacén de recambios están en Remseck, Alemania. El soporte de KLA-Tencor 21xx lo presta APEX Semiconductor USA en Stockton, California.
Servicios especializados
Servicios de reparación y equipos usados
Reparación de spin coaters
Motores de centrifugado, chucks, cubetas y mejoras para spin coaters Convac, SUSS, B.L.E. y SSE.
Reparación de bombas Wafertec
Revisión, reparación e intercambio de bombas dosificadoras Wafertec F30 y Pribyl.
Equipos usados
Enfriadoras Julabo, robots ISEL reacondicionados y más.
Solicitud de asistencia
¿Listo para dar una segunda vida a su equipo?
Cuéntenos cómo es su sistema y cuál es el problema: le responderemos rápidamente.