Soporte para equipos antiguos

KARL SUSS – SUSS MICROTEC

Piezas de recambio, servicio y actualizaciones

Desde 1949

Fundada por Karl Süss en Múnich; adquirió Convac y Fairchild en 1999.

Servicio de recubridoras/reveladoras

Falcon, ACS 200, Gamma 60/80, Delta y RC8.

Reacondicionamiento

Módulos según estándares OEM, además de brazos, placas calefactoras, robots y bombas.

Contratos de servicio

En todo el mundo, con soporte en línea y telefónico.

Historia de SUSS MicroTec

Karl Süss fundó la empresa en Múnich en 1949. Hoy SUSS MicroTec suministra equipos y soluciones de proceso para la microestructuración, entre ellos litografía, recubrimiento, bonding de obleas y procesamiento de fotomáscaras.

En 1999, SUSS adquirió Convac y Fairchild Technologies e incorporó a su gama sus sistemas de recubrimiento y revelado, como el Falcon. Muchos equipos de recubrimiento y revelado SUSS, entre ellos Falcon, ACS 200, Gamma, Delta y RC8, siguen hoy en producción.

Nuestros servicios para SUSS MicroTec

Mantenemos, reparamos y reacondicionamos equipos de recubrimiento y revelado de SUSS MicroTec y Karl Suss: Falcon, ACS 200 Classic y ACS 200 Plus, Gamma 60/80, Delta y RC8.

  • Servicio completo y mantenimiento, con contratos de servicio en todo el mundo
  • Reacondicionamiento de módulos de recubrimiento y revelado según estándares OEM
  • Reconstrucción de brazos dispensadores, placas calefactoras y de refrigeración, robots y bombas
  • Mejoras de proceso para equipos existentes
  • Piezas de recambio y módulos completos de nuestro stock
  • Soporte en línea y por teléfono

Reparación de spin coaters →

Equipos y proyectos

SUSS FALCON / ACS 200 PLUS / GAMMA 60 - 80 / DELTA

SUSS FALCON / ACS 200 PLUS / GAMMA 60 – 80 / DELTA

Reacondicionamos y reparamos equipos Suss Microtec Falcon, ACS 200 Plus, Suss Gamma 60/80, recubridoras/reveladoras Delta, Alta Spray, etc.

Reacondicionamos, reparamos y reconstruimos placas calefactoras y placas de refrigeración, y podemos ofrecer mejoras.

Para el Falcon ofrecemos el reacondicionamiento de módulos de recubrimiento o módulos reveladores. También reacondicionamos conjuntos de brazos dispensadores, robots, bombas, etc.

A lo largo de los años hemos acumulado un gran stock de piezas de recambio y también de módulos completos. Nuestro stock incluye controladores de motor de giro Novotron, motores de giro Kobold y otros modelos, controladores PC7, placas de automatización Lippert, piezas de recambio Genmark, chucks (mandriles), etc.

SISTEMA DE LÍNEA (TRACK) DE RECUBRIMIENTO/REVELADO SUSS MICROTEC GAMMA CON 2 PLACAS CALEFACTORAS, 1 PLACA CALEFACTORA HMDS Y 2 PLACAS DE REF

SISTEMA DE LÍNEA (TRACK) DE RECUBRIMIENTO/REVELADO SUSS MICROTEC GAMMA CON 2 PLACAS CALEFACTORAS, 1 PLACA CALEFACTORA HMDS Y 2 PLACAS DE REFRIGERACIÓN DE ALMACENAMIENTO

  • Realizamos el servicio y mantenimiento completo de las máquinas Gamma.
  • Los contratos de servicio están disponibles en todo el mundo.
  • Servicio en línea y asistencia telefónica
  • Llámenos si tiene problemas inusuales con su equipo
MÓDULO REVELADOR SUSS MICROTEC ACS

MÓDULO REVELADOR SUSS MICROTEC ACS

  • Reacondicionamos los módulos ACS según los estándares OEM
  • Reacondicionamos sustituyendo, cuando procede, todos los racores y válvulas de proceso
  • Reconstruimos el hardware del brazo dispensador, cambiamos los motores paso a paso y las correderas, volvemos a entubar y a cablear el sistema
  • Calibración de los movimientos del brazo Pruebas del proceso con el SW MMC Pruebas finales y preaceptación
SERVICIO DE REACONDICIONAMIENTO COMPLETO DE LOS MÓDULOS CONVAC Y SUSS FALCON

SERVICIO DE REACONDICIONAMIENTO COMPLETO DE LOS MÓDULOS CONVAC Y SUSS FALCON

  • Este módulo revelador Falcon lleva más de 10 años en producción
  • El módulo estaba tan desgastado que había que reacondicionarlo por completo
  • Todas las válvulas, tubos y accesorios fueron cambiados
  • El brazo revelador fue reconstruido con nuevos motores paso a paso, husillos, guías y rodamientos
  • El módulo fue completamente desmontado, descontaminado, reconstruido y calibrado
  • El software MMC es muy flexible y permite retirar un módulo defectuoso del flujo de procesos, de modo que el resto del Falcon puede seguir en producción
MÓDULO REVELADOR FALCON: REACONDICIONAMIENTO COMPLETO

MÓDULO REVELADOR FALCON: REACONDICIONAMIENTO COMPLETO

Desmontaje completo del módulo en diferentes grupos de montaje. Preparar el cambio de cables, tubos y válvulas. Sacar los conjuntos de piezas eléctricas y los conjuntos neumáticos. Desmontar el módulo hasta dejarlo vacío para limpiarlo y descontaminarlo.

KARL SUSS ACS 200 CLASSIC

KARL SUSS ACS 200 CLASSIC

Reacondicionamos y reparamos líneas (tracks) Karl Suss ACS 200 Classic y equipos RC8 independientes.

A lo largo de los años, hemos acumulado un gran stock de piezas de recambio y también de módulos como los módulos de recubrimiento y revelado RC8, HCV y MHU.

Reacondicionamos y reconstruimos placas calefactoras y placas de refrigeración, y podemos ofrecer mejoras.

Vídeo

KARL SUSS – SUSS MICROTEC

Contacto

¿Necesita ayuda con el equipo SUSS MICROTEC?

Indíquenos el equipo, el fallo y sus plazos. Le respondemos con una valoración, las piezas disponibles y lo que implicaría una reparación o mejora.

+49 170 28 444 35
info@apex-semiconductor.com