Cybor – Módulo controlador de bomba – 527E / 2-610-022-086 – Controlador de bomba de fotorresina-Usado – 034228

Descripción

Controlador Cybor modelo 527E Módulo controlador de bomba 2-610-022-086 Fotorresina Semiconductores

Módulo controlador de bomba Cybor modelo 527E, n.º de pieza 2-610-022-086, número de serie 034228.

Módulo de control de bomba de fotorresina usado para aplicaciones de fotolitografía de semiconductores. Versión 527E mejorada con una arquitectura electrónica perfeccionada.

Gestiona la dosificación precisa de fotorresina y poliimida para sistemas de bombas Cybor de la serie 5000 en equipos de litografía basados en líneas de proceso. Interfaz de control electrónico para la temporización del accionamiento de la bomba y la regulación de presión.

Desmontado originalmente de un entorno de fabricación de semiconductores en funcionamiento. Solo el módulo, bomba no incluida.

Resumen del producto

El Cybor Model 527E (n.º de pieza 2-610-022-086, n.º de serie 034228) es un módulo controlador de bomba de fotorresina mejorado para sistemas de dosificación de fotorresina Cybor de la serie 5000 utilizados en fotolitografía de semiconductores.

Especificaciones principales:

• Designación del modelo: 527E (versión mejorada/revisada del Model 527)

• Función de control: gestiona la dosificación precisa de fotorresina y poliimida para equipos de litografía basados en líneas de proceso

• Aplicación: procesos de fotolitografía de semiconductores y de recubrimiento con fotorresina

• Interfaz: módulo de control electrónico con temporización del accionamiento de la bomba, regulación de presión y lógica de retrosucción (suckback)

• Compatibilidad: funciona con sistemas de bombas Cybor de la serie 5000 (modelos 5016, 5026, 5116, 5126, 5330, etc.)