Piezas de repuesto, servicio y actualizaciones
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+49 170 28 444 35
Correo electrónico
info@apex-semiconductor.com
Alemania
Remseck am Neckar – servicio y recambios para recubridoras
EE. UU.
Stockton, California – soporte para KLA-Tencor 21xx
APEX Semiconductor – Alemania
Equipos fotográficos de OEM que ya no existen (es decir, Convac-Fairchild, B.L.E. Laboratory Equipment, SSE (Sister Semiconductor Equipment), SVG (Silicon Valley Group), ATMsse, APT (Convac) y en los que los OEM han dejado de prestar apoyo debido a la antigüedad de los sistemas.
Para una amplia gama de modelos, proporcionamos los siguientes servicios y repuestos:
- Karl Suss ACS 200 Classic, recubridora, reveladora, placa de cocción, placa de enfriamiento, carriles VPO
- Karl Suss RC8 Standalone Coater, herramientas de placa caliente
- Suss Microtec Gamma 60 y 80, ACS 200+, Delta Coater, Developer o Table Top
- Fairchild / Convac / Suss Microtec Falcon Coater, Developer Hotplate, Coolplate, HMDS, VPO, Lift-Off
- Aplicador Convac M6000, revelador, HMDS, placa caliente, limpiador, elevador, grabador, etc.
- Recubridora Convac M2000, pistas de revelado y todas las demás herramientas manuales
- Máquinas manuales de proceso Convac
- Sistemas Convac APT
- B.L.E. Gamma, Respect, Acrobat, Delta .
- SSE y ATMsse Maximus 804 , Opticoat, Optiwet Optihot
- SVG 90s Tracks y otras herramientas SVG, Coater, Developer, Hotplate, Coolplate,
- Semitek, Hamatech
- KLA 21xx
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APEX Semiconductor – Estados Unidos
Soporte técnico de KLA-Tencor para las herramientas de campo brillante de la serie 2100
KLA-Tencor Modelos 21XX ISMIF, 2132, 2133, 2135, 2135XP, 2138, 2138XP, 2139, 25XX, 2552, ADC
- Instalación, desinstalación y reubicación de herramientas
- Auditorías del sistema, líneas de base de rendimiento, calificación del sistema antes de la actualización
- Evaluaciones, apoyo a las aplicaciones
- Mantenimiento preventivo (PM de 6 semanas, trimestral, semestral y anual)
- Soporte técnico de nivel 3 y 4, soporte de escalado in situ
- 2552 Análisis de defectos en obleas
- Apoyo a la estación
- Verificaciones ópticas
- Verificación y reparación de etapas
- Integración de datos de rendimiento y resolución de problemas de red
- Procesador ADC y gestores compatibles
- 21XX Formación en operaciones con clientes y
Nivel 1 Formación sobre el mantenimiento del servicio
Nivel 1 / 2 La formación incluye operaciones con clientes y formación en mantenimiento preventivo
Nivel 3 – Nivel 4 Formación avanzada en alineación de escenarios y ópticas, reservada únicamente al personal de KLA-Tencor
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