Soporte para equipos antiguos
SSE / ATMSSE
Piezas de recambio, servicio y actualizaciones
Maximus 804
Líneas de recubrimiento/revelado y lift-off para obleas de 3″ a 8″.
Opticoat
Recubrimiento de grandes sustratos cuadrados de 16″ o más.
Reparación de estaciones
Estaciones de recubrimiento, revelado, placas calefactoras y de enfriamiento.
Piezas obsoletas
Módulos PMA, controladores de centrifugado Metronix y motores de centrifugado.
Historia de SSE
SSE diseña, fabrica y distribuye equipos de fabricación de vanguardia para los mercados de semiconductores, telecomunicaciones y optoelectrónica y pantallas planas (FPD).
Gracias a una ingeniería innovadora y a un profundo conocimiento del proceso de fabricación de semiconductores, SSE es capaz de ofrecer soluciones estándar y personalizadas que otros fabricantes de bienes de equipo no pueden ofrecer.
Los productos de SSE se dividen en tres categorías:
- Equipo semiautomático de procesamiento de obleas y sustratos (para laboratorios)
- Equipo automatizado de procesamiento de fotorresina
- Equipo de montaje y preparación de obleas
Servicios de SSE
Damos servicio a varias máquinas SSE Sister Semiconductor Equipment GmbH / ATM SSE en todo el mundo:
- Líneas (tracks) Maximus 804 de recubrimiento/revelado y lift-off
- Optiwet
- Opticoat
- Optihot
Reparamos y reacondicionamos todas las estaciones, como las de recubrimiento, revelado, placa calefactora y placa de refrigeración.
Nuestro gran stock de piezas de recambio consiste en módulos controladores PMA, controladores de giro Metronix, motores de giro y una gran variedad de piezas obsoletas.
Páginas de modelos: SSE Maximus 804
Proyectos de SSE
Sistema de recubrimiento/revelado Maximus 804 con robot Genmark o robot Isel.
Este sistema es similar al Gamma 60/80 de Suss Microtec. El Maximus puede procesar obleas de 3″ a 8″. Con su chuck (mandril) de tapa cerrada (Closed Cover) se logra una mejor uniformidad en sustratos cuadrados.
Recubridora de cubeta abierta con brazo dispensador accionado por motor paso a paso.
Al finalizar el proceso, los pines de elevación devuelven la oblea al efector final del robot.
Sistema de revelado, grabado y limpieza Optiwet para sustratos grandes
Carga manual. Brazos dispensadores accionados por motor paso a paso.
SSE Opticoat 75
Las máquinas son para el recubrimiento de sustratos cuadrados grandes de hasta 16″ o más.
La máquina tiene una placa de barrera de aire accionada por un servomotor que se cierra sobre el chuck (mandril) para permitir mejores resultados de recubrimiento, similares al efecto Gyrset de Suss Microtec.
El brazo dispensador es programable, pero en la mayoría de los FAB no se utiliza.
Cámara de proceso Optiwet
Cámara de proceso Optiwet con 2 brazos dispensadores y varias boquillas para agua DI, medios de limpieza o grabado, y secado por centrifugado con N2 o CDA. También está disponible el enjuague de la cara posterior. La gestión de residuos del Optiwet también está integrada para separar el agua DI y los medios de proceso.
Vídeo
SSE / ATMSSE
Contacto
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