APEX Semiconductor
Sobre nosotros
Piezas de recambio, servicio y actualizaciones
Desde 1999
Damos soporte a equipos de fotolitografía desde agosto de 1999.
400 m² de stock
Recambios nuevos y usados, de motores de centrifugado a placas.
Sustratos de 2″ a 16″
Redondos o cuadrados, desde 2″ o menos hasta 16″.
Equipos sin soporte OEM
SUSS, Convac, SSE, B.L.E., SVG y otros.
Quiénes somos
APEX Semiconductor GmbH es un proveedor de servicios y soluciones para la industria de los semiconductores. Reparamos y damos servicio, actualizamos u optimizamos máquinas fotolitográficas en todo el mundo.
Desde agosto de 1999, prestamos asistencia a una amplia gama de equipos de fotolitografía de fabricantes (OEM) que ya no existen (p. ej., Convac-Fairchild, B.L.E. Laboratory Equipment, SSE (Sister Semiconductor Equipment), SVG (Silicon Valley Group), ATMsse, APT (Convac)) o cuyos fabricantes simplemente han dejado de prestar asistencia debido a la antigüedad de los sistemas.
Equipos que atendemos
Para una amplia gama de modelos, proporcionamos los siguientes servicios y piezas de recambio:
- Karl Suss ACS 200 Classic: recubridora, reveladora, placa calefactora, placa de refrigeración, líneas (tracks) VPO
- Recubridoras independientes Karl Suss RC8 y equipos con placa calefactora
- Suss Microtec Gamma 60 y 80, ACS 200+, Delta: recubridoras, reveladoras o equipos de sobremesa
- Fairchild / Convac / Suss Microtec Falcon: recubridora, reveladora, placa calefactora, placa de refrigeración, HMDS, VPO, lift-off
- Convac M6000: recubridora, reveladora, HMDS, placa calefactora, limpiadora, lift-off, grabadora, etc.
- Líneas (tracks) de recubrimiento/revelado Convac M2000 y todos los demás equipos manuales
- Máquinas de proceso manuales independientes Convac
- Sistemas Convac APT
- B.L.E. Gamma, Respect, Acrobat, Delta .
- SSE y ATMsse Maximus 804 , Opticoat, Optiwet Optihot
- Líneas (tracks) SVG 90s y otros equipos SVG: recubridoras, reveladoras, placas calefactoras, placas de refrigeración,
- Semitek, Hamatech
- KLA 21xx
Servicios y stock de piezas
Nuestros servicios incluyen lo siguiente:
- Solución de problemas in situ
- Servicio de escalado in situ
- Asistencia en línea
- Revisiones y reacondicionamientos de máquinas y subsistemas, p. ej., robots Genmark, robots Isel y robots Frogleg, módulos de proceso individuales como placas calefactoras, placas de refrigeración, estaciones de recubrimiento, etc.
- Reparación de piezas de componentes eléctricos, mecánicos y neumáticos
- Servicio de instalación y desinstalación
- Servicio de reubicación de equipos de proceso
- Apoyo y optimización de procesos
- Inspección en origen
- Actualizaciones
- También podemos ofrecer un servicio especializado en la asistencia y las piezas de repuesto de KLA 21xx
Debido a nuestra larga experiencia en el sector con sustratos de 2″ y más pequeños y de hasta 16″, ya sean redondos o cuadrados, somos capaces de ofrecer actualizaciones en las que rediseñamos el hardware sin cambios en el software.
También disponemos de un amplio stock (400 metros cuadrados) de piezas de recambio nuevas o de segunda mano: Varios motores de giro, controladores de giro (Novotron ND 21- 31, Convac, Seidel WKS65, Berger Lahr, Metronix …), unidades de CPU para Convac, SSE (PMA PU 104 …), PCBs de Convac, PCBs de SVG, PCBs de SSE, etc. piezas eléctricas, piezas mecánicas y conjuntos….
Si tiene un equipo de recubrimiento/revelado (coater-developer) antiguo y el sistema presenta problemas leves o graves, o simplemente busca asistencia para una máquina de proceso antigua, llámenos. Estamos aquí para ayudarle.
Contacto
Póngase en contacto con nosotros para obtener ayuda rápida con sus máquinas fotolitográficas
Indíquenos el equipo, el fallo y sus plazos. Le respondemos con una valoración, las piezas disponibles y lo que implicaría una reparación o mejora.