SSE · ATMSSE
SSE Maximus 804: servicio y recambios
Servicio, reparación de estaciones y recambios para líneas SSE / ATMSSE Maximus 804 de recubrimiento, revelado y lift-off.
Obleas de 3″ a 8″
Líneas de recubrimiento, revelado y lift-off.
Reparación de estaciones
Estaciones de recubrimiento, revelado, placa calefactora y placa de enfriamiento.
Robots
Robots de manipulación de obleas Genmark o Isel.
Piezas obsoletas
Módulos PMA, controladores Metronix, motores de centrifugado.
Qué hacemos en el Maximus 804
El Maximus 804 es un sistema de recubrimiento/revelado con un robot Genmark o Isel, similar al SUSS Gamma 60/80. Procesa obleas de 3″ a 8″. Su chuck de cubierta cerrada ofrece mejor uniformidad en sustratos cuadrados, y la recubridora de cubeta abierta tiene un brazo dispensador accionado por motor paso a paso. Tras el proceso, unos pines de elevación devuelven la oblea al efector final del robot.
- Reparación y reacondicionamiento de estaciones de recubrimiento, revelado, placa calefactora y placa de enfriamiento
- Servicio de robots de manipulación de obleas Genmark e Isel
- Brazos dispensadores accionados por motor paso a paso
- Módulos controladores PMA, controladores de centrifugado Metronix y motores de centrifugado en stock
- Chucks de cubierta cerrada para sustratos cuadrados
Recambios SSE en stock
Piezas para equipos SSE y ATMSSE de nuestro stock. Consúltenos si la pieza que necesita no aparece en la lista.
FAQ
Preguntas frecuentes
¿Qué tamaños de oblea procesa el Maximus 804?
El Maximus 804 procesa obleas de 3″ a 8″. Con su chuck de cubierta cerrada también ofrece mejor uniformidad en sustratos cuadrados.
¿Qué robots utiliza el Maximus 804?
Un robot de manipulación de obleas Genmark o uno Isel. Damos servicio a ambos, y a veces hay robots ISEL usados disponibles.
¿Tienen recambios para equipos SSE?
Sí. Nuestro stock incluye módulos controladores PMA, controladores de centrifugado Metronix, motores de centrifugado y muchas piezas obsoletas.
Cuéntenos sobre su Maximus 804
Envíenos la configuración de la línea, la avería y sus plazos. Le responderemos con una evaluación, las piezas que tenemos en stock y un presupuesto.