{"id":12583,"date":"2026-09-22T09:02:12","date_gmt":"2026-09-22T09:02:12","guid":{"rendered":"https:\/\/apex-semiconductor.de\/index.php\/sse-maximus-804\/"},"modified":"2026-09-22T09:02:12","modified_gmt":"2026-09-22T09:02:12","slug":"sse-maximus-804","status":"publish","type":"page","link":"https:\/\/apex-semiconductor.de\/de\/index.php\/sse-maximus-804\/","title":{"rendered":"SSE Maximus 804"},"content":{"rendered":"\n
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SSE \u00b7 ATMSSE<\/p>\n\n\n\n

SSE Maximus 804 Service und Ersatzteile<\/h1>\n\n\n\n

Service, Stationsreparatur und Ersatzteile f\u00fcr SSE \/ ATMSSE Maximus 804 Belacker-, Entwickler- und Lift-Off-Tracks.<\/p>\n\n\n\n

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Support anfragen<\/a><\/div>\n\n\n\n
Alle SSE-Anlagen<\/a><\/div>\n<\/div>\n\n\n\n
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3\u2033 bis 8\u2033 Wafer<\/h3>\n\n\n\n

Belacker-, Entwickler- und Lift-Off-Tracks.<\/p>\n<\/div><\/div>\n\n\n\n

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Stationsreparatur<\/h3>\n\n\n\n

Belacker-, Entwickler-, Hotplate- und Coolplate-Stationen.<\/p>\n<\/div><\/div>\n\n\n\n

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Roboter<\/h3>\n\n\n\n

Genmark- oder Isel-Wafer-Handling-Roboter.<\/p>\n<\/div><\/div>\n\n\n\n

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Obsolete Teile<\/h3>\n\n\n\n

PMA-Module, Metronix-Controller, Spinmotoren.<\/p>\n<\/div><\/div>\n<\/div><\/div>\n<\/div><\/div>\n<\/div><\/section>\n\n\n\n

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Unsere Leistungen f\u00fcr die Maximus 804<\/h2>\n\n\n\n

Die Maximus 804 ist ein Belacker-\/Entwickler-System mit einem Genmark- oder einem Isel-Roboter, \u00e4hnlich der SUSS Gamma 60\/80. Sie verarbeitet Wafer von 3\u2033 bis 8\u2033. Ihr Closed-Cover-Chuck sorgt f\u00fcr eine bessere Gleichm\u00e4\u00dfigkeit auf quadratischen Substraten, und der Open-Bowl-Belacker hat einen schrittmotorgetriebenen Dispense-Arm. Nach dem Prozess \u00fcbergeben Hubstifte den Wafer wieder an den Endeffektor des Roboters.<\/p>\n\n\n\n